R32 Difluorometan jako suchy gaz trawiący Si3N4

R32 Difluorometan znany również jako HFC-32, wzór cząsteczkowy: CH2F2, jako anizotropowy gaz trawiący dla Si3N4, ma stosunkowo niską selektywność dla SiO2 i Si. Oprócz tego, że jest głównym środkiem trawiącym, może być również stosowany jako gaz pomocniczy dla innych głównych środków trawiących w celu dostosowania stosunku fluoru do węgla.

 

R32 – Kluczowa charakterystyka:

1. Nie zubożający warstwy ozonowej

2. Nietoksyczny

3.Gaz fluorowęglowodorowy (HFC).

4. Olej: POE (olej poliolestrowy)

We współczesnej epoce produkcji półprzewodników, gdzie precyzja i miniaturyzacja są kluczowymi czynnikami, proces trawienia odgrywa kluczową rolę. Trawienie to złożona technika stosowana do selektywnego usuwania warstw materiału z płytek półprzewodnikowych, umożliwiająca tworzenie złożonych wzorów obwodów.

Trawienie na sucho polega na użyciu gazu do trawienia podłoża. Typowe metody trawienia na sucho obejmują trawienie fizyczne (takie jak trawienie wiązką jonów) i trawienie chemiczne w oparach (takie jak trawienie plazmowe). Gaz służy do oddziaływania na powierzchnię podłoża w celu zarysowania, a jego cechą charakterystyczną jest duża dokładność obróbki.

R32 Difluorometan jest powszechnie stosowanym gazem do trawienia na sucho, szeroko stosowanym w procesach trawienia plazmowego w przemyśle elektronicznym. Ponadto jest to również płyn chłodzący o zerowym potencjale niszczenia warstwy ozonowej i jest szeroko stosowany w urządzeniach chłodniczych, takich jak klimatyzatory, lodówki i klimatyzatory samochodowe. W porównaniu z tradycyjnymi czynnikami chłodniczymi, gaz R32 ma wyższą wydajność chłodniczą i mniejszy wpływ na środowisko.

Xiamen Juda jest wiodącym dostawcą gazów trawiących i rozwiązań chłodniczych w Chinach, oferującym szeroką gamę produktów, takich jak R32, C4F8, SF6, CF4 i gaz chłodniczy. Założona w 1988 roku przez jednego z chińskich pionierów produkcji chemicznej, Juhua Group Corporation, firma Xiamen Juda od 2004 roku zajmuje się eksportem fluorowanych chemikaliów. Nasz zespół dąży do doskonałości i zapewnia najwyższej klasy rozwiązania gazowe, aby zaspokoić potrzeby naszych klientów. Jesteśmy dumni z naszej wieloletniej reputacji w zakresie jakości i niezawodności. Dzięki Xiamen Juda możesz mieć pewność, że otrzymujesz to, co najlepsze w branży.