FFKM to materiał uszczelniający o wysokiej wydajności. Jego doskonałe właściwości pozwoliły na jego zastosowanie w całym systemie produkcyjnym produktów półprzewodnikowych. Spośród nich pierścienie uszczelniające FFKM są jednym z głównych materiałów eksploatacyjnych wymaganych do produkcji układów scalonych.
struktura i charakterystyka wydajnościowa FFKM
FFKM jest kopolimeryzowany przez tetrafluoroetylen (TFE), perfluoroalkilowy eter winylowy (PAVE) jako główne monomery i niewielką ilość monomeru punktu utwardzania (CSM). Jak pokazano na poniższym rysunku, wszystkie atomy węgla w polimerze Atomy wodoru w gumie są zastąpione atomami fluoru, co sprawia, że jest to guma, która w ogóle nie zawiera wiązań CH.
Główne cechy wydajnościowe FFKM:
1) Właściwości fizyczne
Gęstość FFKM wynosi 1.9-2.0g/cm³. Jego właściwości mechaniczne w normalnej temperaturze są zbliżone do właściwości kauczuku fluorowego (FKM) na bazie fluorku winylidenu (VDF), ale jego właściwości mechaniczne w wysokiej temperaturze są lepsze niż właściwości kauczuku fluorowego.
2) Odporność chemiczna
W łańcuchu cząsteczkowym FFKM nie ma atomów wodoru, a wiązania CC są otoczone powłoką złożoną z atomów F, co wykazuje dużą obojętność chemiczną i sprawia, że polimer jest znacznie odporny na działanie substancji chemicznych.
3) Odporność na wysokie i niskie temperatury
Temperatura robocza FFKM wynosi zazwyczaj 260~290 stopni i może być stosowana okresowo w wysokich temperaturach 316 stopni. Ponieważ duża liczba grup -OCF3 jest wprowadzana do łańcuchów rozgałęzionych cząsteczek, elastyczność cząsteczek jest poprawiona, a odporność gumy na niskie temperatury jest poprawiona.
4) Odporność na plazmę
W środowisku plazmowym produkt charakteryzuje się wysoką czystością i niskim poziomem opadów, a także może wytrzymywać bombardowanie plazmą przez długi czas.
Zastosowania fFKM w półprzewodnikach
W produkcji półprzewodników niezawodność uszczelnień elastomerowych jest krytyczna, ponieważ przerwy w produkcji w celu wymiany uszczelnień są niezwykle kosztowne. Aby uniknąć potencjalnych zagrożeń, wymagania dotyczące czystości i czystości uszczelnień są bardzo rygorystyczne. Jednocześnie uszczelnienia muszą być w stanie pracować przez długi czas w środowisku ciśnieniowym o wysokiej temperaturze, wysokiej próżni i żrących gazach chemicznych.
W zakresie zastosowań półprzewodników firma FFKM koncentruje się głównie na:
1) Uszczelnienie gazowe: W procesie produkcji półprzewodników przetwarzanie i transport różnych gazów mają zasadnicze znaczenie. Pierścienie uszczelniające FFKM służą do uszczelniania gazociągów, zaworów i złączy, aby zapobiec wyciekom gazu i utrzymać stabilność procesu.
2) Trawienie i czyszczenie: Etapy trawienia i czyszczenia w procesach półprzewodnikowych często obejmują użycie mediów korozyjnych, takich jak silne kwasy lub zasady. Pierścienie uszczelniające FFKM są szeroko stosowane w częściach urządzeń mających kontakt z tymi mediami, takich jak komory trawiące, zbiorniki czyszczące itp. ze względu na ich doskonałą odporność na korozję.
3) Transport cieczy i chemikaliów: Podczas produkcji półprzewodników zachodzi konieczność transportu różnych cieczy i chemikaliów, takich jak roztwory, rozpuszczalniki, płyny czyszczące itp. Pierścień uszczelniający FFKM można stosować do uszczelniania elementów urządzeń, takich jak rury, zawory i pompy, zapewniając bezpieczne dostarczanie mediów.
4) Środowisko o wysokiej temperaturze: Niektóre etapy procesu produkcji półprzewodników, takie jak obróbka cieplna, wyżarzanie itp., muszą być wykonywane w środowisku o wysokiej temperaturze. Pierścienie uszczelniające FFKM charakteryzują się doskonałą odpornością na wysokie temperatury i są w stanie zachować swoją elastyczność i właściwości uszczelniające w wysokich temperaturach.
5) Oczyszczanie wody ultrapurej: W produkcji półprzewodników woda ultrapurej jest używana do czyszczenia i oczyszczania sprzętu i materiałów. Pierścienie uszczelniające FFKM są szeroko stosowane do uszczelniania sprzętu do oczyszczania wody ultrapurej, aby zapobiec przedostawaniu się zanieczyszczeń i skażeń.
Ze względu na wysoki koszt surowców gumowych FFKM, warunki pracy, w których zazwyczaj stosuje się uszczelki FFKM, są wyjątkowo trudne. W tych trudnych warunkach pracy inne gumy są podatne na korozję, pęcznienie, rozpuszczanie, starzenie i twardnienie itp., co powoduje uszkodzenie uszczelnienia i w związku z tym nie może spełnić wymagań dotyczących uszczelnienia. Ze względu na doskonałą odporność na korozję i wysoką temperaturę guma FFKM może nie tylko spełnić wymagania dotyczące uszczelnienia w trudnych warunkach pracy, ale także wydłużyć żywotność uszczelnień i obniżyć koszty konserwacji klientów.
